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      1. 產品中心

        ATL準分子激光器ATLEX-500-I

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        • 品牌名稱:ATL
        • 規格型號:ATLEX-500-I
        產品介紹

        軟電暈預電離

        高壓固態脈沖發生器

        激光頭體積<3l

        TMC(全金屬陶瓷)容器

        集成真空泵和鹵素過濾器

        風冷/可選液冷,主動熱管理

        RS-485,RS232,USB和光纖接口,用于系統集成

        可沖洗光學支架

        能量穩定模式

        新一代緊湊型風冷,高重復頻率的準分子激光器,專為中低占空比應用而設計。

        產品參數

        氣體介質

        F2

        ArF

        KrF

        XeCl

        XeF

        波長 nm

        157

        193

        248

        308

        351

        高壓開關技術

        固態開關

        重復率max. Hz

        1

        10

        15

        8

        7

        脈沖能量max. mJ

        0.5

        4.0

        6.5

        3.0

        2.5

        平均功率max. W

        500

        脈沖持續時間 ns

        5-8

        光束尺寸(V x H) mm

        4 x 6

        光束發散角(V x H)mrad

        1 x 2

        能量穩定性(標準偏差)%

        < 3

        尺寸(長x寬x高)mm

        540 x 470 x 370

        重量 kg

        60

        冷卻

        冷卻空氣/可選液體

        電源要求

        230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz

         

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