軟電暈預電離
高壓固態脈沖發生器
激光頭體積<3l
TMC(全金屬陶瓷)容器
集成真空泵和鹵素過濾器
風冷/可選液冷,主動熱管理
RS-485,RS232,USB和光纖接口,用于系統集成
可沖洗光學支架
能量穩定模式
新一代緊湊型風冷,高重復頻率的準分子激光器,專為中低占空比應用而設計。
氣體介質 |
F2 |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
波長 nm |
157 |
193 |
248 |
308 |
351 |
高壓開關技術 |
固態開關 |
||||
重復率max. Hz |
1 |
10 |
15 |
8 |
7 |
脈沖能量max. mJ |
0.5 |
4.0 |
6.5 |
3.0 |
2.5 |
平均功率max. W |
500 |
||||
脈沖持續時間 ns |
5-8 |
||||
光束尺寸(V x H) mm |
4 x 6 |
||||
光束發散角(V x H)mrad |
1 x 2 |
||||
能量穩定性(標準偏差)% |
< 3 |
||||
尺寸(長x寬x高)mm |
540 x 470 x 370 |
||||
重量 kg |
60 |
||||
冷卻 |
冷卻空氣/可選液體 |
||||
電源要求 |
230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz |
專注領域研究 產品供應
專注領域研究 產品供應
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