超緊湊的尺寸
軟電暈預電離
高壓固態脈沖發生器
激光頭體積<3l
TMC(全金屬陶瓷)容器
集成真空泵和鹵素過濾器
完全風冷,主動熱管理
RS-485,RS232,USB和光纖接口,用于系統集成
可沖洗光學支架
能量穩定模式
ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源,專為中低占空比S應用而設計。
氣體介質 |
ArF |
KrF |
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波長 nm |
193 |
248 |
||
高壓開關技術 |
固態開關 |
固態開關 |
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重復率max. Hz |
300 |
500 |
300 |
500 |
脈沖能量max. mJ |
10 |
10 |
15 |
15 |
平均功率max. W |
2.4 |
4 |
4 |
6 |
脈沖持續時間 ns |
5-8 |
|||
光束尺寸(V x H) mm |
4 x 6 |
|||
光束發散角(V x H)mrad |
1 x 2 |
|||
能量穩定性(標準偏差)% |
< 3 |
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尺寸(長x寬x高)mm |
630 x 400 x 300 |
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重量 kg |
65 |
|||
冷卻 |
空氣 |
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電源要求 |
230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz |
專注領域研究 產品供應
專注領域研究 產品供應
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