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產品介紹
無電極設計
-低雜物/低消耗成本
使用氮氣產生的2-4nm軟X射線
-啟用臺式SXR顯微鏡應用
等離子體尺寸小
-直徑小于1mm的高亮度
經濟高效且緊湊
-每SXR瓦特成本低
-占地面積小
Energetiq EQ-10SXR源包括一個19英寸的機架，該機架包含氣體子系統，功率傳輸子系統和控制電子設備；無電極Z-pinch源組件及其集成的真空泵；以及高效脈沖調制器。這種模塊化設計可輕松集成EQ-10SXR能夠將高達400毫瓦的2.8nm功率提供給2pi球面弧度，并能夠以高達2kHz的脈沖重復頻率連續運行。
為了適應各種應用的不同要求，源工作條件是用戶可調的?？梢愿鶕脩粢筢槍Ψ逯倒β驶蚍逯盗炼葍灮廨敵?。在典型的操作條件下，等離子體的直徑通常小于1mm。
在無電極SXR源組件的正面為用戶提供了一個簡單而靈活的光學接口，以連接到應用設備。自定義界面可滿足特定的客戶要求。用戶界面通過彩色觸摸屏顯示進行操作，并包含允許手動和自動操作的菜單。EQ-10SXR易于安裝，僅需電源，冷水供應，清潔的干燥壓縮空氣和高純度氮氣即可。
產品參數
用于水窗顯微鏡和6.7nm研發的軟X射線源
氣體選擇：使用的NIST光譜數據庫
相對強度高的搜索線：只有出現的氣體是氖氣
操作參數
430 V，1100 Hz
5.5 kW
400 mtorr
輸出功率：70 W
津公網安備12010102000950號